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應(yīng)用方案

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高純氣體分析1(5ppm雜質(zhì))

更新時間:2023/7/7 20:53:41

進樣方式:閥進樣

檢測器:HTCD

出峰順序:1、空氣;2、CF4;3、CO24、SF6

適用性:適用于高純電子工業(yè)氣體中微量雜質(zhì)的在線分析